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日本日立可變壓力掃描電子顯微鏡SU6600

日本日立可變壓力掃描電子顯微鏡SU6600概述

該顯微鏡采用可變壓力(VP)技術,除了具有高分辨率成像和樣品物性表征特性外,還支持X 射線能譜儀, X射線波譜儀以及電子背散射衍射系統進行各種樣品分析。在可變壓力模式下,操作者可改變樣品室的真空狀態由高真空狀態改為低真空狀態。

電子槍:ZrO/W肖特基場發射電子槍

分辨率:1.2 nm /30 kV,3.0 nm /1 kV

探針電流:1pA~200nA

樣品倉壓力:10-4Pa(高真空), 10~300Pa(低真空)

樣品尺寸:樶大直徑150 mm×高40 mm

日本日立可變壓力掃描電子顯微鏡SU6600特點

★ 樶大200nA的探針電流,可滿足EDX、WDX、EBSP、CL等應用
★ 配有VP功能,可自動實現壓差光闌的安裝和取出
★ 配有二次電子探頭和背散射探頭,可選配ESED
★ 大型分析型樣品室,可方便的安裝多種分析附件
★ 可裝載150mm直徑、40mm高樣品
★ 電腦控制的5軸優中心馬達樣品臺


蘇公網安備 32050502000404號

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